GSL-3F多路浮子控制供气系统
本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。|
气路通道 |
多通道（可根据客户需求设计通道） |
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气路流量控制器： |
采用浮子流量计控制 |
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标准量程 |
10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min |
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接口 |
Φ6.35,1/4'' |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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不锈钢管 |
Φ6（外）X Φ4（内） |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6.35 |
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混气罐 |
Φ80×140mm |
