OTF-1200X-50S-PE-SL-小型滑动PECVD管式炉系统
OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) （等离子体化学气相沉积）滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索。|
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·输入电源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW ·最高工作温度1200°C，小于60分钟 ·连续工作温度1100°C ·炉管采用高纯石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L ·可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能 ·加热区长度：200mm 单温区. ·恒温区2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C |
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等离子体射频电源 |
·输出功率: 5 -300W 可调 稳定性± 1% ·射频电源频率: 13.56 MHz 稳定性±0.005% ·最大反向功率: 200W ·匹配: 自动 ·射频电源电子输出端口: 50 Ω, N型半导体, 阴极 ·噪音: <50 dB. ·冷却: 风冷 ·电源 : 208-240VAC, 50/60Hz |
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真空法兰和接头 |
·真空法兰采用 304不锈钢制作. ·左端法兰上安装有 KF-25真空接口，2个KF-25快速卸装卡箍，KF-25直角阀，KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀 |
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真空泵及水冷机 |
·AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W ·2 Liter /S ·出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康） ·真空度: 10-2 torr
·可选水冷机 |
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产品尺寸和重量 |
·外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H) ·净重: 160kg |
