名称
|
1100℃双温区大口径管式炉(6,8.5,11英寸管径)GSL-1100X-XX-S2
|
设备型号
|
1、大体积设备提示
|
2、多种配件可选提示
|
3、图片未及时更新提示
|
GSL-1100X-6-S2
|
GSL-1100X-8.5-S2
|
GSL-1100X-11-S2
|
高纯石英管尺寸
|
规格1:152 OD x 143 ID x 1320mm L
|
规格1:216 OD x 206 ID x 1320mm L
|
规格1:279 OD x 269 ID x 1320mm L
|
规格2:152 OD x 143 ID x 1020mm L
|
规格2:216 OD x 206 ID x 1020mm L
|
规格2:279 OD x 269 ID x 1020mm L
|
石英舟(可选)最大可兼容8”直径基片
|
最大可兼容4”直径基片
|
最大可兼容6”直径基片
|
最大可兼容8”直径基片
|
|
|
|
基本参数
|
● 热偶:K型热偶
● 建议升温速率:≤10℃/min
● 温度:1000℃ (1100℃<1h)
● 电源:AC220,50Hz 最大8KW
|
加热区
|
● 规格1:加热区长度:600mm 双温区:300mm+300mm
● 规格2:加热区长度:900mm 双温区:450mm+450mm
|
炉体结构
|
● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃(参考值,详情请点击)
● 设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料)
● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
● 该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中
|
加热元件
|
掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以大程度延长使用寿命)
|
密封法兰
|
● 采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr(参考值,详情请点击)
● 可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度
● 左侧水冷法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头
● 右侧水冷法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。(如果您的泵是kf25接口,你需要一个kf40-kf25转接头)
|
温控系统
|
● 包含一款YD518P型温度控制器
● PID自动控温系统
● 智能化30段可编程控制
● 控温精度:±1℃
● 两个温区分别有两个独立的温控系统控制
● 默认DB9 PC通信连接端口
● 通过MET认证
● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
|
温度校准(可选)
|
● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括
● 48”L(1/4”OD)K型热电偶校准
● 一Omega温度校准器
● 热电偶补偿线
● 你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr
|
外形尺寸
|
● 规格1:1880 L x 700W x 930 H mm
● 规格2:2180 L x 700W x 930 H mm
|
净重
|
约200 kg
|