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GSL1100X-PJF-A等离子表面处理仪
GSL1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品，有自动控制的样品台，就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理，保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台（带有有真空吸盘和控制盒）。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面，可处理的样品有单晶片，光学元件和塑料等，也可在常压下进行等离子增强气相沉积。|
输入电源 |
208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W |
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RF发生器 |
输出频率：20-23kHz , 25KV 等离子枪头：仪器中包括两种等离子枪头：圆形头：10-12mm，矩形头：15-18mm |
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输入气体气压，工作气体 |
40 PSI min.(0.055 Mpa) Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 ) |
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等离子体工作压力 |
7- 10 PSI |
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工作环境 |
温度 < 42°C，湿度 ≤ 40℃RH |
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样品台和控制柜 |
配有可在X-Y轴移动的样品台，通过步进电机驱动，采用SBC控制盒控制 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离 控制盒采用LCD显示，可设置其等离子枪头的扫描程序。 最大扫描范围：8" x 9" 一个直径为4“的真空吸盘安装在X-Y样品台上，可吸住直径为6”的样品。 配有一真空泵，可与真空吸盘相连接 整个系统安装在一移动架上（600x600x 800Lmm） 可选：可选在加热样品台（最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。 |
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尺寸&重量 |
处理样品台尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H 重量：55kg |
