CGM-2F小型2通道供气系统
CGM-2F是一种紧凑型双通道小管式炉微量气体混合供气系统，可用于手套箱，等离子清洗机、小型PECVD系统。可输入两种不同气体通过调节压力和流量，输出一种较准确的混合性气体，本产品可和任意设备配套使用。|
两个浮子流量计的流量范围 |
10 ~100 mL/min |
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三个机械压力表 (混气室) |
-0.1-0.15MPa, (0.01MPa/grit)
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外形尺寸 |
340L×300D×180H, mm ( 13.4"×12"×7"). |
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净重 |
14 lbs |
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采用SS304精密不锈钢针阀 |
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连接采用1/4"管径不锈钢或聚四氟乙烯管 |
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本产品无需外接电源 |
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