GSL-LCD，多路质量流量供气系统
GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。 窗体底端
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型号 |
标准量程 |
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GSL-2Z |
100sccm、500sccm |
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GSL-3Z |
100sccm、200sccm、500sccm |
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GSL-4Z |
100sccm、200sccm、200sccm、500sccm |
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质量流量控制器 |
工作电压：AC 220V/50HZ 工作温度：5-45℃ 工作压强：3×106Pa 最大输出功率：23W 精度：±1.5%FS 线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S. 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa |
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PLC触摸屏 |
·各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上 ·RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制 |
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机械压力表 |
量程范围:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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针阀 |
316不锈钢 |
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管件 |
内部连接管道为1/4〞不锈钢管，外部通气管道为1/4〞聚四氟管 |
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气体混料罐 |
Φ80×120mm |
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截止阀 |
316不锈钢针阀Φ1/4〞 |
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产品规格 |
容积：600×745×700mm |
