GZK-PID-VRD24-恒压控制系统
GZK-PID-VRD24是一款低真空恒压控制系统，内部含一抽速可达6.6L/s的双级旋片机械泵VRD-24，通过PID控制真空泵的转速来控制抽气速率，进而获得对腔室内压力的精密测量和恒压控制，可与我公司的管式炉、镀膜仪等设备结合，实现PVD、CVD以及PECVD等工艺的压力恒定的精确控制。广泛应用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器中。|
输入电源 |
• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz • 功率为1000W |
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真空测量单元
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• 型号：PGC-554-LD • 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr • 精度： 3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5 |
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真空泵系统
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• 机械泵型号：VRD-24 • 抽速：6.6L/S • 进气口：KF25 • 工作环境温度：5-40℃ • 噪音：≦58 dB • 极限真空度：3*10-4 torr（不带负载） |
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压力恒定控制系统 |
• 压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm） • 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10） ＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） |
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外型尺寸 |
• 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
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产品重量 |
• ~40kg |
