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PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
设备型号 |
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL |
OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL |
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炉管材料 |
2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L |
3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L |
5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' Length |
等离子发射源 |
· 输出功率: 5 -500W ± 1% . · 射频频率: 13.56 MHz ±0.005% . · 反射功率: 最大 200W · 匹配: 自动 · 射频接口: 50 Ω, N-type · 噪音: <50 dB. · 冷却: 风冷. · 电源: AC 208-240V, 50/60Hz |
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真空泵机组 |
· 我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售 · KF25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连. · 管内真空可达10E-2 Torr · 防腐型真空计( 美国) 安装在左法兰上. · 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
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质量流量计 |
· MFC 1范围: 0~100 sccm · MFC 2和3: 0~200 sccm · MFC 4范围: 0~500 sccm · 一个混气罐,底部装有泄废液口. · 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体. · 进气口: 4个1/4NPS. · 出气口: 4个 1/4NPS. ·采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制
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控温软件 |
· 计算机可以通过控温软件控制炉子:RS485 接口和软件是免费的,但需要购买数据线和一个控制模块 · 为了获得较大的升温速度, 必须预热到设定温度,然后将炉子滑到样品位置。 · 为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.
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总尺寸 |
· 炉体: 550 x 380 x 520 mm · 滑轨: 1750 mm 长 · 移动架: 1200 x 1200 x 600mm. · 净重: 220 Lbs. · 运输重量: 500lbs.
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