设备型号

OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL

OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL

OTF-1200X-III-S-UL-130

炉管材料

2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L

3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L

5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' Length

等离子发射源

· 输出功率:          5 -500W    ± 1% . 

· 射频频率:          13.56 MHz    ±0.005% .

· 反射功率:          最大 200W 

· 匹配:                自动

· 射频接口:       50 Ω, N-type

· 噪音:                    <50 dB. 

· 冷却:                  风冷. 

· 电源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

真空泵机组

·  我公司有多种真空泵可选，请点击图片，或是致电我公司销售

·  KF25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.

·  管内真空可达10E-2 Torr 

·  防腐型真空计( 美国) 安装在左法兰上.

·  本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）     

质量流量计

四个精密的质量流量计(精度：±1.5%FS ) ：数字显示，自动控制.

· MFC 1范围:  0~100 sccm 

· MFC 2和3:    0~200 sccm  

· MFC 4范围:   0~500 sccm 

· 一个混气罐，底部装有泄废液口. 

· 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.

· 进气口: 4个1/4NPS. 

· 出气口: 4个 1/4NPS. 

·采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制  

控温软件

·  计算机可以通过控温软件控制炉子：RS485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块

·  为了获得较大的升温速度,  必须预热到设定温度，然后将炉子滑到样品位置。

·  为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.

总尺寸 

·   炉体: 550 x 380 x 520  mm 

·  滑轨:   1750 mm 长

·  移动架: 1200 x 1200 x 600mm.

·  净重: 220 Lbs.

·  运输重量: 500lbs.