OTF-1200X-50S-PE-SL-小型滑动PECVD管式炉系统-CVD系统-天津仪恒达科技有限公司

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OTF-1200X-50S-PE-SL-小型滑动PECVD管式炉系统

OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) （等离子体化学气相沉积）滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索。

开启式管式炉

·输入电源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW

·最高工作温度1200°C，小于60分钟

·连续工作温度1100°C

·炉管采用高纯石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L

·可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能

·加热区长度：200mm 单温区.

·恒温区2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C

等离子体射频电源

·输出功率: 5 -300W 可调稳定性± 1%

·射频电源频率: 13.56 MHz 稳定性±0.005%

·最大反向功率: 200W

·匹配: 自动

·射频电源电子输出端口: 50 Ω, N型半导体, 阴极

·噪音: <50 dB.

·冷却: 风冷

·电源 : 208-240VAC, 50/60Hz

真空法兰和接头

·真空法兰采用 304不锈钢制作.

·左端法兰上安装有 KF-25真空接口，2个KF-25快速卸装卡箍，KF-25直角阀，KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀

真空泵及水冷机

·AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W

·2 Liter /S

·出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）

·真空度: 10-2 torr

·可选水冷机

产品尺寸和重量

·外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)

·净重: 160kg

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