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900℃小型RTP炉
OTF-1200X-4-RTP是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4”石英管和真空法兰,它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为50°C/秒.30段温度控制,精度为+/-1C.计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。
工作温度 |
最高900℃(<10min); 800℃(<30min); 600℃(长期 |
最快升温速率 |
室温~800℃:50℃/s,800tc~900℃;10℃/s |
最快降温速率 |
60℃/min(<200 mtorr),117℃/min(在一个大气压下) |
法兰 |
KF-25D型不锈钢高真空法兰 |
最慢降温速率 |
10℃/min |
加热区长度 |
190mm |
控温精度 |
+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃) |
加热元件 |
8根红外灯管(每根1.5KW) |
热电偶 |
可插入式的铠装热电偶,进口R型热偶,紧贴在放样品的AlR片下 |
最大功率 |
12KW(>60A保险) |
设备电源 |
AC220V/50H单相 |
循环水流量 |
0.5m3/h |
标配流量计量程范围 |
16-160 ml/min |
尺寸 |
-760(L)×330(W)×530(H)mm(法兰关闭) 1200(L)×330(W)×530(H)mm(法兰打开) 炉膛尺寸:180X190
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重量 |
70Kg |