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900℃小型RTP炉
OTF-1200X-4-RTP是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4”石英管和真空法兰，它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计，采用10KW红外灯管加热最快升温速度为50°C/秒.30段温度控制，精度为+/-1C.计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。|
工作温度 |
最高900℃(<10min); 800℃(<30min); 600℃(长期 |
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最快升温速率 |
室温~800℃:50℃/s，800tc~900℃；10℃/s |
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最快降温速率 |
60℃/min(<200 mtorr),117℃/min(在一个大气压下) |
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法兰 |
KF-25D型不锈钢高真空法兰 |
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最慢降温速率 |
10℃/min |
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加热区长度 |
190mm |
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控温精度 |
+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃) |
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加热元件 |
8根红外灯管(每根1.5KW) |
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热电偶 |
可插入式的铠装热电偶，进口R型热偶，紧贴在放样品的AlR片下 |
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最大功率 |
12KW(>60A保险) |
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设备电源 |
AC220V/50H单相 |
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循环水流量 |
0.5m3/h |
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标配流量计量程范围 |
16-160 ml/min |
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尺寸 |
-760(L)×330(W)×530(H)mm(法兰关闭) 1200(L)×330(W）×530(H)mm(法兰打开) 炉膛尺寸:180X190
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重量 |
70Kg |
