900℃小型RTP炉

OTF-1200X-4-RTP是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4”石英管和真空法兰,它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为50°C/秒.30段温度控制,精度为+/-1C.计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。

工作温度

最高900(<10min); 800℃(<30min); 600(长期

最快升温速率

室温~800℃:50℃/s,800tc~900℃10/s

最快降温速率

60℃/min(<200 mtorr),117℃/min(在一个大气压下)

法兰

KF-25D型不锈钢高真空法兰

最慢降温速率

10℃/min

加热区长度

190mm

控温精度

+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃)

加热元件

8根红外灯管(每根1.5KW)

热电偶

可插入式的铠装热电偶,进口R型热偶,紧贴在放样品的AlR片下

最大功率

12KW(>60A保险)

设备电源

AC220V/50H单相

循环水流量

0.5m3/h

标配流量计量程范围

16-160 ml/min

尺寸

-760(L)×330(W)×530(H)mm(法兰关闭)

1200(L)×330(W)×530(H)mm(法兰打开)

炉膛尺寸:180X190

 

重量

70Kg

销售热线:15222560868
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