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OTF-1100X-XX-III 1100℃三温区电动开启式管式炉
OTF-1100X-XX-III是一款通过CE认证的三温区管式炉，采用8.5英寸或11英寸石英炉管及不锈钢密封法兰（安装有不锈钢截止阀和机械压力表）。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制，可设置30段升降温曲线，带有超温和短偶保护，控温精度为+/- 0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。| 名称 | 1100℃电动开启式三温区管式炉（8.5、11英寸石英炉管） | |
| 设备型号 | OTF-1100X-8.5-III | OTF-1100X-11-III |
| 高纯石英管尺寸 | 216 OD x 206 ID x 1800mm L | 279 OD x 269 ID x 1800mm L |
| 加热区 | 1000mm | |
| 电源 | AC380，50Hz 三相电 功率：20KW | AC380，50Hz 三相电 功率：20KW |
| 炉体结构 |
● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃
● 设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）（图一、二） ● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） ● 该炉可作为退火或扩散炉，最大可用于8”晶片放在对应石英舟中（图三） ● 电动开启式设计，使得用户操作更加简便。（图四） |
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| 基本参数 |
● 热偶：K型热偶
● 建议升温速率：≤10℃/min ● 温度：1000℃ （1100℃＜1h） ● 电源：AC220，50Hz ● 最大功率:8KW |
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| 加热元件 | SiC棒（36根） | |
| 炉管 |
● 8.5英寸或11英寸高纯石英炉管
● 注意：石英炉管易碎，操作需谨慎 ● 为了获得更高的工作温度，可选用FeCrAl合金管，温度可达1200℃
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| 密封法兰 |
● 一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可使炉管内真空度达到10^-3torr（采用机械泵抽真空）
● 左端法兰：安装有不锈钢针阀，Φ6.35的进气口 ● 右端法兰：KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准）
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| 温控系统 | 控温精度：±0.5℃ | |
| 温度校准（可选） |
● 定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括
● 1根1200mm的K型铠装热偶 ● 一Omega温度校准器 ● 4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ● 你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr
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| 外形尺寸 |
● 2210 L x 770W x 1190 H mm
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| 净重 | 约500 kg | |
