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OTF-1100X-XX-III 1100℃三温区电动开启式管式炉
OTF-1100X-XX-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用8.5英寸或11英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制,可设置30段升降温曲线,带有超温和短偶保护,控温精度为+/- 0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。名称 | 1100℃电动开启式三温区管式炉(8.5、11英寸石英炉管) | |
设备型号 | OTF-1100X-8.5-III | OTF-1100X-11-III |
高纯石英管尺寸 | 216 OD x 206 ID x 1800mm L | 279 OD x 269 ID x 1800mm L |
加热区 | 1000mm | |
电源 | AC380,50Hz 三相电 功率:20KW | AC380,50Hz 三相电 功率:20KW |
炉体结构 |
● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃
● 设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(图一、二) ● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命) ● 该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中(图三) ● 电动开启式设计,使得用户操作更加简便。(图四) |
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基本参数 |
● 热偶:K型热偶
● 建议升温速率:≤10℃/min ● 温度:1000℃ (1100℃<1h) ● 电源:AC220,50Hz ● 最大功率:8KW |
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加热元件 | SiC棒(36根) | |
炉管 |
● 8.5英寸或11英寸高纯石英炉管
● 注意:石英炉管易碎,操作需谨慎 ● 为了获得更高的工作温度,可选用FeCrAl合金管,温度可达1200℃
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密封法兰 |
● 一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可使炉管内真空度达到10^-3torr(采用机械泵抽真空)
● 左端法兰:安装有不锈钢针阀,Φ6.35的进气口 ● 右端法兰:KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准)
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温控系统 | 控温精度:±0.5℃ | |
温度校准(可选) |
● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括
● 1根1200mm的K型铠装热偶 ● 一Omega温度校准器 ● 4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ● 你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr
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外形尺寸 |
● 2210 L x 770W x 1190 H mm
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净重 | 约500 kg |