OTF-1100X-XX-III 1100℃三温区电动开启式管式炉

OTF-1100X-XX-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用8.5英寸或11英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制,可设置30段升降温曲线,带有超温和短偶保护,控温精度为+/- 0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。

名称 1100℃电动开启式三温区管式炉(8.5、11英寸石英炉管)
设备型号 OTF-1100X-8.5-III OTF-1100X-11-III
高纯石英管尺寸 216 OD x 206 ID x 1800mm L 279 OD x 269 ID x 1800mm L
加热区 1000mm
电源 AC380,50Hz 三相电 功率:20KW AC380,50Hz 三相电 功率:20KW
炉体结构 ● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃

● 设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(图一、二)

● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)

● 该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中(图三)

● 电动开启式设计,使得用户操作更加简便。(图四)

基本参数 ● 热偶:K型热偶

● 建议升温速率:≤10℃/min

● 温度:1000℃ (1100℃<1h)

● 电源:AC220,50Hz

● 最大功率:8KW

加热元件 SiC棒(36根)
炉管 ● 8.5英寸或11英寸高纯石英炉管

● 注意:石英炉管易碎,操作需谨慎

● 为了获得更高的工作温度,可选用FeCrAl合金管,温度可达1200℃


密封法兰 ● 一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可使炉管内真空度达到10^-3torr(采用机械泵抽真空)

● 左端法兰:安装有不锈钢针阀,Φ6.35的进气口

● 右端法兰:KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准)


温控系统 控温精度:±0.5℃
温度校准(可选) ● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括

● 1根1200mm的K型铠装热偶

● 一Omega温度校准器

● 4'' ~ 8'' 晶片石英支架

● 你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr


外形尺寸 ● 2210 L x 770W x 1190 H mm


净重 约500 kg
销售热线:15222560868
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