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GSL-1100X-XX-III 1100℃三温区大口径管式炉
GSL-1100X-XX-III是CE认证的三温区大口径管式炉，此系列管式炉可选择三种炉管直径：6英寸（152mm）、8.5英寸（216mm）和11英寸（279mm）。设备最高加热温度可达1100℃，控温精度为+/-1℃并可设置30段升降温程序。此款设备配有铰链式法兰，可对材料在真空或气氛保护环境下进行热处理。| 名称 | 1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-XX-III | ||
| 产品提示 | 1、大体积设备提示 2、多种配件可选提示 | ||
| 设备型号 | GSL-1100X-6-III | GSL-1100X-8.5-III | GSL-1100X-11-III |
| 高纯石英管尺寸 | 152 OD x 143 ID x 1300mm L | 216 OD x 206 ID x 1300mm L | 279 OD x 269 ID x 1300mm L |
| 石英舟（可选） | 最大可兼容4”直径基片 | 最大可兼容6”直径基片 | 最大可兼容8”直径基片 |
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| 炉体结构 |
● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃（参考值，详情请点击）
● 设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）（点击图片查看详细资料） ● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） ● 该炉可作为退火或扩散炉，最大可用于8”晶片放在对应石英舟中
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| 基本参数 |
● 热偶：K型热偶
● 建议升温速率：≤10℃/min ● 温度：1000℃ （1100℃＜1h） ● 电源：AC220，50Hz ● 最大功率:8KW |
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| 加热区 | 加热区长度：900mm (三温区：300mm+300mm+300mm) | ||
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以大程度延长使用寿命） | ||
| 密封法兰 |
● 采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr（参考值，详情请点击）
● 可选购一套温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表），用于测试炉管内部的温度 ● 左侧水冷法兰：真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头 ● 右侧水冷法兰：kf40真空接口，方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。（如果您的泵是kf25接口，你需要一个kf40-kf25转接头）
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| 温控系统 |
● 包含一款YD518P型温度控制器
● PID自动控温系统 ● 智能化30段可编程控制 ● 控温精度：±1℃ ● 两个温区分别有三个独立的温控系统控制 ● 默认DB9 PC通信连接端口 ● 通过MET认证 ● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
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| 温度校准（可选） |
● 定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括
● 48”L（1/4”OD）K型热电偶校准 ● 一Omega温度校准器 ● 热电偶补偿线 ● 你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr
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| 外形尺寸 | 1880 L x 700W x 930 H mm | ||
| 净重 | 约200 kg | ||
