GSL-1100X-XX-III 1100℃三温区大口径管式炉

GSL-1100X-XX-III是CE认证的三温区大口径管式炉,此系列管式炉可选择三种炉管直径:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。设备最高加热温度可达1100℃,控温精度为+/-1℃并可设置30段升降温程序。此款设备配有铰链式法兰,可对材料在真空或气氛保护环境下进行热处理。

名称 1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-XX-III
产品提示 1、大体积设备提示                2、多种配件可选提示
设备型号 GSL-1100X-6-III GSL-1100X-8.5-III GSL-1100X-11-III
高纯石英管尺寸 152 OD x 143 ID x 1300mm L 216 OD x 206 ID x 1300mm L 279 OD x 269 ID x 1300mm L
石英舟(可选) 最大可兼容4”直径基片 最大可兼容6”直径基片 最大可兼容8”直径基片
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炉体结构 ● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃(参考值,详情请点击)

● 设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料)

● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)

● 该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中


基本参数 ● 热偶:K型热偶

● 建议升温速率:≤10℃/min

● 温度:1000℃ (1100℃<1h)

● 电源:AC220,50Hz

● 最大功率:8KW

加热区 加热区长度:900mm (三温区:300mm+300mm+300mm)
加热元件 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以大程度延长使用寿命)
密封法兰 ● 采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr(参考值,详情请点击)

● 可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度

● 左侧水冷法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头

● 右侧水冷法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。(如果您的泵是kf25接口,你需要一个kf40-kf25转接头)


温控系统 ● 包含一款YD518P型温度控制器

● PID自动控温系统

● 智能化30段可编程控制

● 控温精度:±1℃

● 两个温区分别有三个独立的温控系统控制

● 默认DB9 PC通信连接端口

● 通过MET认证

● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据


温度校准(可选) ● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括

● 48”L(1/4”OD)K型热电偶校准

● 一Omega温度校准器

● 热电偶补偿线

● 你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr


外形尺寸 1880 L x 700W x 930 H mm
净重 约200 kg
销售热线:15222560868
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