名称
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1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-XX-III
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产品提示
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1、大体积设备提示 2、多种配件可选提示
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设备型号
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GSL-1100X-6-III
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GSL-1100X-8.5-III
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GSL-1100X-11-III
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高纯石英管尺寸
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152 OD x 143 ID x 1300mm L
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216 OD x 206 ID x 1300mm L
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279 OD x 269 ID x 1300mm L
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石英舟(可选)
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最大可兼容4”直径基片
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最大可兼容6”直径基片
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最大可兼容8”直径基片
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炉体结构
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● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃(参考值,详情请点击)
● 设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料)
● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
● 该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中
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基本参数
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● 热偶:K型热偶
● 建议升温速率:≤10℃/min
● 温度:1000℃ (1100℃<1h)
● 电源:AC220,50Hz
● 最大功率:8KW
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加热区
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加热区长度:900mm (三温区:300mm+300mm+300mm)
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加热元件
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掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以大程度延长使用寿命)
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密封法兰
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● 采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr(参考值,详情请点击)
● 可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度
● 左侧水冷法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头
● 右侧水冷法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。(如果您的泵是kf25接口,你需要一个kf40-kf25转接头)
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温控系统
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● 包含一款YD518P型温度控制器
● PID自动控温系统
● 智能化30段可编程控制
● 控温精度:±1℃
● 两个温区分别有三个独立的温控系统控制
● 默认DB9 PC通信连接端口
● 通过MET认证
● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
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温度校准(可选)
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● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括
● 48”L(1/4”OD)K型热电偶校准
● 一Omega温度校准器
● 热电偶补偿线
● 你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr
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外形尺寸
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1880 L x 700W x 930 H mm
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净重
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约200 kg
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